处于封闭手柄中的氯(卤族元素CI)原子和氙(惰性元素Xe)原子在高频电场的作用下，形成不稳定的氯化氙准分子。此准分子极不稳定，在其从准分子态转回原子态的过程中，自然辐射出单波长的308nm准分子光。